仪器设备
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光刻机

时间:2015-06-18  来源: 文本大小:【 |  | 】  【打印

仪器名称

光 刻 机

    

MA6

仪器编号

 

仪器来源

 

生产厂商

德国SUSS

启用日期

 

仪器类别

 

仪器原值

1431400.0

所在单位部门

中科院化学研究所-高技术实验室

仪器负责人

 

联系电话

010-62639779

010-62562871

      

北京市海淀区中关村北一街23号楼0104

    

100190

E-mail

wjlip@iccas.ac.cn

主要技术指标

曝光光源:UV400光学系统

曝光范围:Φ6inch

曝光线条分辨率:≤0.8μm

对准调节分辨率:0.1μm         

最大模板尺寸:7×7英寸

包含主要附件

 

仪器主要功能

掩膜版曝光;可实现接触式和间隙曝光;可进行间歇曝光。

仪器服务领域

先进封装、化合物半导体、功率器件、太阳能、纳米技术和晶圆片级光学系统等领域的光刻需求 

计量认证资质

实验室认可

仪器现状

正常

收费标准

 

附件
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中国科学院化学研究所高技术材料实验室
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