仪器设备
仪器设备

探针式表面轮廓仪

时间:2015-06-18  来源: 文本大小:【 |  | 】  【打印

仪器名称

探针式表面轮廓仪

    

DEKTAK-XT

仪器编号

 

仪器来源

 

生产厂商

布鲁克公司

启用日期

 

仪器类别

 

仪器原值

271876.52

所在单位部门

中科院化学研究所-高技术实验室

仪器负责人

 

联系电话

010-62639779

010-62562871

      

北京市海淀区中关村北一街23号楼0104

    

100190

E-mail

wjlip@iccas.ac.cn

主要技术指标

扫描长度:55mm

垂直范围:1mm       

台阶高度重现性: 

垂直分辨率:

包含主要附件

 

仪器主要功能

纳米尺度的表面轮廓测量

 

仪器服务领域

 微电子器件,半导体,电池,高亮度发光二极管的研发以及材料科学领域。

计量认证资质

实验室认可

仪器现状

正常

收费标准

 

附件
相关文档
中国科学院化学研究所高技术材料实验室
地址:北京海淀区中关村北一街二号 邮编:100190