仪器名称

探针式表面轮廓仪

型    号

DEKTAK-XT

仪器编号

仪器来源

生产厂商

布鲁克公司

启用日期

仪器类别

仪器原值

271876.52元

所在单位部门

中科院化学研究所-高技术实验室

仪器负责人

王 娟

联系电话

010-62639779

010-62562871

地      址

北京市海淀区中关村北一街2号3号楼0104

邮    编

100190

E-mail

wjlip@iccas.ac.cn

主要技术指标

扫描长度：55mm

垂直范围：1mm       

台阶高度重现性：5Å 

垂直分辨率：1Å

包含主要附件

仪器主要功能

纳米尺度的表面轮廓测量

仪器服务领域

 微电子器件，半导体，电池，高亮度发光二极管的研发以及材料科学领域。

计量认证资质

否

实验室认可

否

仪器现状

正常

收费标准

 电询