仪器名称

真空紫外光固化系统

型    号

BZZ2504DS-ZK172

仪器编号

仪器来源

生产厂商

中国 上海国达特殊光源有限公司

启用日期

 2021.10

仪器类别

仪器原值

37万元

所在单位部门

中科院化学研究所-高技术实验室

仪器负责人

  王朦朦，冯伟

联系电话

022-60651518

地      址

天津市武清区京滨工业园古达路15号

邮    编

301739

E-mail

wangmengmeng@iccas.ac.cn；fengwei@iccas.ac.cn

主要技术指标

主波长：172nm

照射距离：250mm×250mm

辐照距离：3mm-30mm

真空度：1*10-3Torr

包含主要附件

仪器主要功能

固定172nm波长，清洁、固化样品

可真空或N2保护下进行操作

仪器服务领域

表面清洁、图层固化等领域

计量认证资质

否

实验室认可

否

仪器现状

正常