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真空紫外光固化系统

时间:2022-01-04  来源: 文本大小:【 |  | 】  【打印
 

仪器名称

真空紫外光固化系统

    

BZZ2504DS-ZK172

仪器编号

 

仪器来源

 

生产厂商

中国 上海国达特殊光源有限公司

启用日期

 2021.10

仪器类别

 

仪器原值

37万元

所在单位部门

中科院化学研究所-高技术实验室

仪器负责人

  王朦朦,冯伟

联系电话

010-60651518

      

天津市武清区京滨工业园古达路15

    

301739

E-mail

wangmengmeng@iccas.ac.cnfengwei@iccas.ac.cn

主要技术指标

主波长:172nm

照射距离:250mm×250mm

辐照距离:3mm-30mm

真空度:1*10-3Torr

包含主要附件

 

仪器主要功能

固定172nm波长,清洁、固化样品

可真空或N2保护下进行操作

仪器服务领域

表面清洁、图层固化等领域

计量认证资质

实验室认可

仪器现状

正常

附件

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